HQ-RTS-L系列 紅外光學(xué)溫度計
HQ-RTS-L系列 紅外光學(xué)溫度計
HQ-RTS-L系列在控制晶圓之間溫度和薄膜厚度的均勻性方面具有更高優(yōu)勢。
HQ-RTS-L紅外溫度計采用高度敏感的電子器件及光學(xué)系統(tǒng)，可以使用更短波長的探測器來測量輻射能，減少了晶圓透射及發(fā)射率造成的誤差。此外，紅外溫度計的高速采集和高分辨率對于控溫和噪聲抑制起到很好的作用，進而對晶圓溫度監(jiān)控和生產(chǎn)工藝的提升能得到很好的幫助。
應(yīng)用案例
性能參數(shù)
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